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TERA EVALUATOR テラヘルツエリプソメータ
 
 
 
テラヘルツ分光測定にエリプソメトリの技術を導入した、新しいテラヘルツ分光装置です。
反射光学系の採用により、不透明な材料の測定に最適です。
 

主な特徴

  • キャリア濃度・移動度を非破壊・非接触で測定
  • テラヘルツ領域の複素誘電率を計測可能
  • 液体試料も測定可能
  • 解析用ソフトウェア:THz Analysisを標準搭載
  • レーザーの外部入力が可能なシステムを構築
 

性能・仕様

測定方式
THz Time-Domain Ellipsometry
計測信号
電場強度の時間波形
出力データ
エリプソメトリックパラメータ、
複素屈折率/ 誘電率/ 電気伝導度(解析プログラム使用)
試料室光学配置
水平配置(測定面:上面)
測定帯域
0.5 〜 3 THz 以上(標準試料による出力範囲)
フェムト秒パルスレーザ
中心波長 780 〜 800 nm 付近、 パルス幅 100 fs 以下
 ※外部からの導入も可能です
試料形態
固体、液体
制御用PC
Windows 7(32bit版)の動作条件を満たすコンピュータ
Tera Evaluatorとの接続に有線LANが1ポート、USBが2ポート以上必要です
ソフトウェア
測定用ソフトウェア、解析用ソフトウェア
外形寸法/重量
732(W)×585(D)×500(H) mm、約85 kg (※配線、突起等は含みません)
 
 

動作環境

電源
AC100V(50/60 Hz) 10A(但し、レーザー用に別系統の電源を推奨します)
温度
25℃±2℃(25℃±1℃を推奨)
湿度
60%RH以下(30%RH以下を推奨)
乾燥空気
乾燥空気は、10〜20 NL/min(露点-60℃)
但し、湿度の影響をどこまで減らすかにより流量はユーザー様にて調整願います。
乾燥空気発生器は、オプションにてご用意しております。
その他
使用環境のクリーン度は、一般的な事務所レベルで問題はありませんが、精密機器であるためより粉塵の少ない環境が望まれます。
振動に関しましては、一般的な事務所レベル(体に感じない程度)であれば問題ありません。
 
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