| クリーンルームクラス1000（400以下） | 1300m2、900m2 |
| クリーンルームクラス10000（1000以下） | 1680m2、1080m2 |
| クリーンブースクラス400（100以下） | 1基（50m2） |
| ヘリウムリークディテクタ | 3台 |
| 低温高温槽 | 1台 |
| 周波数変換機 | 1台 |
| 20tクレーン（ターミナル） | 1基 |
| 30tクレーン（ターミナル） | 1基 |
| 10tクレーン（クリーンルーム内） | 3基 |
| 4.8tクレーン（クリーンルーム内） | 1基 |
| 1tクレーン（クリーンルーム内） | 1基 |
| 超低温液化ガス貯槽（処理能力7000kg） | 1基 |
| フォークリフト（7t用） | 1台 |
| 4tトラック（エアーサス） | 2台 |
| その他用力（冷却水、ドライエアー、電力、N2等） | 1式 |
| CAD Auto Cad Solid Edge（3D） Solid Works（3D） COSMOS Works |