搬送装置

G8(縦：2200×横：2400mm)サイズ液晶ガラス基板製造装置用のリッド(蓋)開閉装置で昇降、スライド、反転の機能を有しています。

液晶検査装置用ロード/アンロード装置です。カセットに収納された液晶基板を、直交座標系(X、Y、Z、Θ軸)のロボット制御により、一枚ずつ取り出し、基板のアライメント後、光学系の検査(欠陥測定)装置に搬送します。検査後、基板をカセットに戻します。基板サイズは、G3.5(620mm×750mm)に対応します。

液晶パネル用ガラス基板搬送治具。
基板サイズG7(1870mm×2200mm)に対応。

半導体工場内の工程間搬送を行う中間ロード/アンロード装置です。AGV、PGVにより供給されたフープカセットを各工程や中間ストッカへ入出庫、またOHTの各ステーションでも入出庫する装置です。