1.検査装置、光学分析装置

  • ブレーキ特性検査装置
  • マイクロクラッチ特性検査装置
  • ブラシレスDCモータ特性検査装置
  • プローブカード接触抵抗測定装置
  • マイクロクラッチ検査ライン
  • 電源検査装置
  • THz(テラヘルツ)分光分析装置
  • FT-IR光学分析器
  • 分光器、光学顕微鏡の組立、光学調整

2.搬送および自動化

  • ハードディスク媒体製造ライン自動化
  • LCD用光学検査装置のローダー
  • スパッタ装置用カセットI/F
  • ウェハ貼り付け装置用プレート搬送自動化
  • ハードディスク媒体検査装置搬送部
  • ICチップ搭載機
  • 半導体工場工程間搬送I/Fポート

3.洗浄装置

  • レジスト剥離装置
  • セラミックプレート(φ485)の洗浄装置

4.ソフト関連

  • 鍵管理システム
  • 入退室管理システム
  • 案内表示装置
  • 半導体製造装置の各種制御ソフト
  • 検査装置各種の制御ソフト

5.その他

  • 各種モジュール、コントローラの設計製作
  • 動物実験用機器
  • 教育用教材
  • 組み込み製品

6.半導体製造装置および液晶パネル製造装置関連

  • プローバー、エッチング、CVD、LCD装置関連の設計(メカ・エレキ・ソフト)
  • エッチング装置の組立検査
  • CVD装置の組立、検査、インスタレーション
  • LCD装置の組配及び検査調整
  • ウェハ張り合わせ装置
  • 大型リッド(蓋)開閉装置