1984年3月 | 名古屋市東区泉一丁目3-7を本社として会社設立。(資本金1,000万円)テルバリアン(株) (現バリアンジャパン)へ、イオン注入用マグネットを納入開始。 |
1985年8月 | 韮崎市穂坂町宮久保734に第一工場を新設。 テルメック(株) (現東京エレクトロンAT)と取引開始。プローバーの設計を開始。 |
1986年9月 | 日本分光(株)と取引開始。赤外分光計の設計製作を開始。 |
1987年4月 | テル山梨(株) (現東京エレクトロンAT)へエッチング装置納入開始。 |
1990年2月 | 松下電器産業(株)精器事業部甲府工場と取引開始。 ネジ締めロボットの治具設計製作を開始。 |
1990年3月 | テル相模(株) (現東京エレクトロン東北)のユニット設計を手掛ける。 |
1990年11月 | 資本金3,000万円に増資。 |
1991年4月 | 神鋼電気(株)と取引開始。マイクロクラッチ検査システムを納入。 |
1993年4月 | テルエンジニアリング(株) (現東京エレクトロンAT)と取引開始。 液晶パネル表示装置の設計製作を手掛ける。 |
1994年8月 | 新日鐵(株)製セラミック材料を東京エレクトロンAT(株)へ納入開始。 |
1996年3月 | 第2工場を新設。クリーンブース設置(クラス400) |
1996年4月 | 半導体製造装置(メタルCVD)の設計(メカ・エレキ・ソフト)と総組検査、インスタレーションを開始。 |
1997年3月 | クリーンルーム設置(クラス400) |
1997年11月 | 資本金5,000万円に増資。本社を韮崎市穂坂町宮久保734に移す。 |
1997年12月 | ISO9002を取得。工場倉庫、食堂建設。 |
1998年4月 | ガラス媒体パイロットライン富士電機(株)へ納入。 |
1999年4月 | 通産省新規産業創造技術開発費補助金を受けAGSM完成。 |
2000年2月 | 中小企業創造活動促進法第4条第1項の認定を受ける。 |
2000年4月 | 工場倉庫(281平方メートル)増設。 |
2004年6月 | 第3工場を建設(3000平方メートル)クリーンルーム設置。 (1Fクラス10000 1000平方メートル、2Fクラス1000 900平方メートル) |
2007年10月 | 新第1工場を建設(4700平方メートル)クリーンルーム設置。 (1Fクラス10000 1700平方メートル、2Fクラス1000 1300平方メートル) |
2012年9月 | テラヘルツ分光装置「Tera Prospector」の販売を開始。 (分析・科学機器展「JASIS 2012」に出展) |
2013年7月 | 京都事務所開設。 |
2013年9月 | テラヘルツ分光装置「Tera Evaluator」の販売を開始。 (SiC関連の国際学会「ICSCRM2013」および「セミコン・ジャパン2013」に出展) |
2021年4月 | 古屋正次が代表取締役会長に就任。 古屋俊彦が代表取締役社長に就任。 |