1984年3月名古屋市東区泉一丁目3-7を本社として会社設立。(資本金1,000万円)テルバリアン(株)　(現バリアンジャパン)へ、イオン注入用マグネットを納入開始。
1985年8月韮崎市穂坂町宮久保734に第一工場を新設。
テルメック(株)　(現東京エレクトロンAT)と取引開始。プローバーの設計を開始。
1986年9月日本分光(株)と取引開始。赤外分光計の設計製作を開始。
1987年4月テル山梨(株)　(現東京エレクトロンAT)へエッチング装置納入開始。
1990年2月松下電器産業(株)精器事業部甲府工場と取引開始。
ネジ締めロボットの治具設計製作を開始。
1990年3月テル相模(株)　(現東京エレクトロン東北)のユニット設計を手掛ける。
1990年11月資本金3,000万円に増資。
1991年4月神鋼電気(株)と取引開始。マイクロクラッチ検査システムを納入。
1993年4月テルエンジニアリング(株)　(現東京エレクトロンAT)と取引開始。
液晶パネル表示装置の設計製作を手掛ける。
1994年8月新日鐵(株)製セラミック材料を東京エレクトロンAT(株)へ納入開始。
1996年3月第2工場を新設。クリーンブース設置(クラス400)
1996年4月半導体製造装置(メタルCVD)の設計(メカ・エレキ・ソフト)と総組検査、インスタレーションを開始。
1997年3月クリーンルーム設置(クラス400)
1997年11月資本金5,000万円に増資。本社を韮崎市穂坂町宮久保734に移す。
1997年12月ISO9002を取得。工場倉庫、食堂建設。
1998年4月ガラス媒体パイロットライン富士電機(株)へ納入。
1999年4月通産省新規産業創造技術開発費補助金を受けAGSM完成。
2000年2月中小企業創造活動促進法第4条第1項の認定を受ける。
2000年4月工場倉庫(281平方メートル)増設。
2004年6月第3工場を建設(3000平方メートル)クリーンルーム設置。
(1Fクラス10000　1000平方メートル、2Fクラス1000　900平方メートル)
2007年10月新第1工場を建設(4700平方メートル)クリーンルーム設置。
(1Fクラス10000　1700平方メートル、2Fクラス1000　1300平方メートル)
2012年9月テラヘルツ分光装置「Tera Prospector」の販売を開始。
(分析・科学機器展「JASIS 2012」に出展)
2013年7月京都事務所開設。
2013年9月テラヘルツ分光装置「Tera Evaluator」の販売を開始。
(SiC関連の国際学会「ICSCRM2013」および「セミコン・ジャパン2013」に出展)
2021年4月古屋正次が代表取締役会長に就任。
古屋俊彦が代表取締役社長に就任。