搬送装置

大型リッド(蓋)
開閉装置
FPD基板搬送装置FPD基板搬送治具WAFER FOUP
カセット搬送装置

マイクロクラッチ
検査装置
TeraProspector
テラヘルツ分光装置
TeraEvaluator
テラヘルツエリプソメータ
依頼サンプル測定
サポート業務

AGSMセキュリティ管理システム組み込みシステム各種製造装置・検査装置