半導体評価精度を10倍に向上 2021年9月21日 最終更新日時 : 2021年12月24日 サイト管理者 高精度テラヘルツエリプソメトリにより GaNやSiCなどの半導体評価精度を10倍以上に向上 – リソウ (osaka-u.ac.jp)
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